質量流量控制器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，不需溫度壓力補償。主要由分流器通道、放大控制器、流量傳感器和流量調節閥門等部分組成，其中分流器決定主通道的流量。

質量流量控制器注意以下三點：

1、怕液體和油污進入流量計，會造成失控，如果質量流量控制器的出口接有液體罐，為避免液體回流，需要在質量流量控制器出口加上單向閥；

2、怕使用潮濕的腐蝕性氣體，潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹，因此要求在使用腐蝕性氣體前，要對氣體和管路系統進行干燥處理，否則可能會造成質量流量控制器通道損壞；

3、怕粉塵，若粉塵進入質量流量控制器會堵塞傳感器和分流器，造成測量誤差，要求在進氣口前加裝過濾器。

質量流量控制器工作原理：將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源，數字電壓表，設定電位器，內設、外設轉換和三位閥控開關等。