Voegtlin質(zhì)量流量控制器流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。

　　Voegtlin質(zhì)量流量控制器使用時(shí)需注意：當(dāng)質(zhì)量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時(shí)，可以當(dāng)質(zhì)量流量計(jì)使用。在做流量計(jì)使用時(shí)，流量檢測(cè)電壓的輸出值z(mì)ui大可能達(dá)+10V以上，不過(guò)要注意，當(dāng)流量超滿量程值+5V后，流量檢測(cè)電壓與通過(guò)的實(shí)際流量不成線性對(duì)應(yīng)關(guān)系。清洗時(shí)，流量顯示不準(zhǔn)，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異常現(xiàn)象，但并不會(huì)對(duì)流量計(jì)本身造成損傷。