CS熱式質量流量計本身缺陷：對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量；對脈動流在使用上將受到限制；對液體中的粘性液體進行測量會受到限制；測量響應慢；被測量氣體組分變化較大的場所，因熱導率和cp值變化，測量值會有較大變化而產生誤差；對細管型儀表有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用；對于熱分布式流量計，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，須定期清洗。

　　CS熱式質量流量計可以應用的場所合集：水處理中瀑氣流量測量；壓縮空氣流量測量；鍋爐空氣流量，測量二次風量；卷煙，水泥，玻璃廠生產過程中氣體流量測量；焦化廠，鋼鐵廠煤氣流量測量；煤氣，氫氣，火炬氣，液化氣等氣體流量測量；煙囪排出的煙氣流量測量等等。